
勻膠機 型號: SC/1B

技術(shù)指標及配置:
1. 用于Φ5至Φ100mm硅片及其它材料等勻膠
2. 采用變頻器控制電機轉(zhuǎn)速,可實現(xiàn)均勻調(diào)速。轉(zhuǎn)速及其勻膠時間分別設(shè)置,可同時輸入七組數(shù)值,即轉(zhuǎn)速及勻膠時間可任意設(shè)置為Ⅰ檔、Ⅱ檔、……Ⅶ檔,從而達到啟動后先低速運轉(zhuǎn)(Ⅰ檔),然后自動執(zhí)行Ⅱ檔、……直至達到高速運轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)速設(shè)置范圍: 300轉(zhuǎn)/分(或更低) ~ 8000轉(zhuǎn)/分勻膠時間設(shè)置范圍: 1~3600秒。
3. 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1%
4. 膠的均勻性:±3%
5. 電機功率:90W
6. 樣片托: 1吋、2吋各一個
7. FY-1 機泵一個(0.5升/秒)
8.整機重量:9公斤
| 產(chǎn)品名稱:烘膠臺 智能烘膠臺 產(chǎn)品型號:BP/2B |
烘膠臺 智能烘膠臺 型號:BP/2B

產(chǎn)品主要用于光刻工藝中的前烘和堅膜。本產(chǎn)品具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點,可長時間連續(xù)穩(wěn)定工作。本產(chǎn)品操作方便、穩(wěn)定性高,具有較高的性能價格比,可廣泛應(yīng)用于科研和生產(chǎn)。
烘膠板材料不銹鋼
烘膠板規(guī)格ø200mm
烘烤溫度≤200℃
控溫精度±2℃
控溫形式采用溫控儀PID調(diào)節(jié)(功率調(diào)節(jié)),自動測溫,控溫
外形尺寸280×360×220mm